三维电子背散射衍射技巧（3D-EBSD）

在材料科学鸿沟，对材料的微不雅结构进行精准分析是至关进犯的。传统的电子背散射衍射（EBSD）技巧主要提供样品名义的晶体学信息，但关于三维物体的里面结构，这些信息就显得不够全面。为了深刻盘考晶粒组织、晶粒尺寸和界面等三维特征，科学家们发展了一种新的技巧——三维电子背散射衍射（3D-EBSD）。

从二维到三维的向上

关于大作为区域的三维特征分析，机械切片技巧是一种常用的舛错。通过在样品的不同深度处清楚新的名义，不错逐层分析材料的里面结构。但是，这种舛错在搞定小作为区域时就显得不那么高效。为了克服这一抛弃，科学家们弃取了扫描电镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）的聚合技巧。通过FIB去除EBSD面分散图层间的物资，金鉴实验室省略为客户提供更高效、更准确的材料分析后果。

分析利器

领有多台先进的分析仪器，包括四台扫描电镜（SEM）、两台扫描超声波仪（C-SAM）、一台双束聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）、X射线透视仪（XRD）等。这些高端拓荒为实验室提供了雄伟的分析才气，使其省略进行高精度的三维微不雅结构分析。此外，实验室还领有全套的热分析拓荒和显微红外光谱（Micro-FTIR）等，进一步增强了其分析才气。

双束聚焦离子显微镜（FIB-SEM）

自动化与精准限度

在3D-EBSD的执行经过中，样品的抛弃至关进犯。样品需要同期合适离子束切削和EBSD数据收罗，这频繁通过自动切换样品位置或保合手样品固定不动来好意思满。通过不休重迭收罗EBSD数据和清楚新的名义，不错在分析区域内设置一个包含三维微不雅组织信息的自大图。

3D-EBSD中FIB-SEM和 EBSD的几何位置干系的暗示图

数据收罗与分析

为了赢得致密的隔离率，需要收罗宽绰的切片数据。举例，图2所示的铜样品分析，等于通过在x, y和z三个标的以0.2μm的步长收罗数据来好意思满的。这种技巧不仅省略展现晶粒之间的界面，还能提供晶粒尺寸和体式的细心信息。

三维取向图的重建与搞定

通过3D-EBSD技巧，不错赢得材料的三维取向图。这些图像经过重建和搞定后，不错在X，Y和Z平面上展示截面，从而凸起自大罗致的晶粒。这种三维展示为盘考材料的微不雅结构提供了前所未有的视角。

3D-EBSD在材料科学中的利用远景

三维电子背散射衍射技巧（3D-EBSD）为材料科学鸿沟提供了一种雄伟的器用，使得科学家省略更深刻地解析材料的里面结构。

铜样品的3D EBSD分析(a) 重建和搞定过的三维取向图；(b) 在X开yun体育网，Y和Z平面的截面；(c) 凸起自大及第的晶粒。